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    多孔氧化物濕度接近開關傳感器
     
    錄入時間:2014-11-04 11:08:52瀏覽次數:1
     

    多孔氧化物濕度接近開關傳感器主要指多孔A12O3和多孔SIO2濕度接近開關傳感器。它們的是感濕機理相同,都可制成絕對濕度接近開關傳感器和相對濕度接近開關傳感器。這種接近開關傳感器的制造利用了半導體器件的平面工藝技術,微型多孔SIO2濕度接近開關傳感器可與集成電路制作在同一管芯上,對電路密封管殼內的濕度進行監測。這類接近開關傳感器為濕度接近開關傳感器的微型化、集成化以及進一步的智能化開辟了新的途徑,所以發展很快。

      下面以多孔SIO2濕度微接近開關傳感器為例,分析多孔氧化物濕度接近開關傳感器的工作機理。

      多孔SIO2濕度接近開關傳感器的核心是具有感濕特性的多孔結構SIO2膜。膜中的氣孔開關近似細長的圓管,而且氣孔均勻地從膜表面垂直地鉆蝕到膜的下部。當環境濕度發生變化時,膜中氣孔壁上所吸附的水分子數量也隨之變化,從而引起SIO2膜的電特性改變。電特性的等交往電路是氣孔內表面電阻,其數值直接取決于吸附在氣孔內壁上水分子的量,是一個主要的感濕參量。

      如果將該等效電路看做是一個RC并聯電路,那么,這個電路中的電容CP和電阻RP可通過話梅是到。

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