和微懸臂梁的質(zhì)量敏感效應(yīng)，可檢測(cè)到飛克量級(jí)的質(zhì)量變化。因此，微懸臂梁在以分子間特異性吸附為基本敏感機(jī)理的化學(xué)、生物量微光電開關(guān)傳感器中，具有非常好的應(yīng)用前景。例如，將核酸之間的雜交或抗體與抗原之間的特異性結(jié)合轉(zhuǎn)換為微懸臂梁諧振頻率的變化，可間接感知生物分子之間的識(shí)別和結(jié)合。該檢測(cè)方法無需傳統(tǒng)免疫分析中必不可少的本科、同位素、熒光等標(biāo)記物，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)核酸分子雜交或抗與抗原特異性結(jié)合的檢測(cè)和分析。

　　基于諧振原理的微懸臂梁式化學(xué)微傳感器原理是懸臂梁上固定一層對(duì)被測(cè)分子有特異結(jié)合性質(zhì)的分子探針，當(dāng)懸臂梁在被測(cè)環(huán)境中工作時(shí)，分子探針與被測(cè)子發(fā)生特異性結(jié)合，使得懸臂梁的等效質(zhì)量發(fā)生改變，從而影響懸臂梁的諧振頻率。通過測(cè)量諧振頻率的改變情況，即可檢測(cè)到分子探針與被測(cè)分子之間相互作用的過程。

　　對(duì)表面吸附的檢測(cè)可以有兩種方式：一種是靜態(tài)的，即檢測(cè)分子吸附所導(dǎo)致的懸臂梁彎曲變形;另一種則是動(dòng)態(tài)的，即檢測(cè)懸臂梁的諧振頻率偏移。