靈敏度：氣敏光電開關MOSFET的靈敏度定義為器件閾值電壓與氣體體積分數的關系。當有氧氣存在時，氫分子和氧分子在PD表面發生化學反應生成水分子，由于水分子吸附在PD表面，使氫的數減小。氧氣密度越大，氫的覆蓋系數越小，從而影響了器件的靈敏度。

　　溫度特性：氫氣敏感傳感器在室溫和惰性氣體中，有一定的靈敏度，但響應時間或恢復時間太長。通過實驗得到。PD柵氣敏MOSFET的工作溫度最好選擇在一百五十度附近。

　　響應特性：當氣體濃度發生變化時，PD柵氣敏MOSFET的閾值電壓UT隨時間而變化，并逐漸達到穩定值。這一過程與氣敏MOSFET的響應特性有關。氣敏MOSFFR的響應特性可以用響應時間和恢復時間來描述。

　　器件從氫氣階躍變化開始直到穩定值的百分之九十五所用的時間稱為器件的響應時間。器件從氫氣環境突然置于空氣中，器件輸出達到穩定值的百分之九十五所用的時間為器件的恢復時間。

　　穩定性：PD據氣敏MOSFET的閥值電壓UT隨時間發生緩慢的漂移，影響氫氣MOSFET穩定性的因素主要有兩個方面：一方面是氫敏傳感器PD柵膜層的鼓包現象。另一方面是PD——SIO2-SI結構在氫氣中存在滯后現象。

　　該類傳感器是一種新型器件，特性沿不穩定，還不能用PD-MOSFET定量檢測氫氣的體積分數，只能用作H2的泄漏檢測。