氧化鋁薄膜露點濕度接近開關傳感器的氧化層薄膜的厚度是該原理接近開關傳感器性能的關鍵，在氣體與液體中直接測量水的分壓非常便利、有效。GE公司制造的探頭所具有的氧化層薄膜厚度使其顯示真正的絕對濕度，而不是相對濕度，同時使得溫度與滯后的影響降至最低，具備快速響應和超常的標注定穩定性。其探頭由經過一系列特殊工藝陽極電鍍使鋁基表面產生多孔氧化層，并在氧化鋁表面上蒸鍍一層極薄金鍍層。該鋁基與金鍍層形成了兩個電極，使整個結構成為一個氧化鋁電容。水氣快速地滲透過金鍍層，并平衡分布于氧化句號的孔隙壁上。氧化鋁結構吸收的水分子數量決定了孔隙壁的傳導率。每個孔電阻值提供了一個獨特的、與水的分壓成函數關系的阻抗。這個函數關系適用于氣體與液體中的水分測量。

　　例如，某型號氧化鋁薄膜露點濕敏器件，其露點/霜點標注定溫度范圍為-110到-60度。