半導體陶瓷濕敏元件主要用多孔狀金屬氧化物材料制成。這類元件都是利用其表面多孔性來吸濕，并在吸附水分子后使得其電導率改變這一原理來檢測濕度的。

　　若半導體陶瓷濕敏元件的電導率隨濕度的增加而下降，則稱為負特性濕敏半導體陶瓷;相反，若電導率隨濕度增加而上升，則稱為正特性濕重復半導體陶瓷。

　　由MGCR2O4-TIO2固熔體組成的多孔性半導體陶瓷濕敏元件是較常用的一種接近開關(guān)濕敏器件。這種半導體陶瓷材料的表面電阻值能在很寬范圍內(nèi)隨濕度增加而變小，即使在高濕條件下進行多次反復熱清洗，其性能仍不改變。下面以這種元件為例介紹這類濕度接近開關(guān)傳感器。