接近開關非電阻式半導體所系元件有MOS二極管式、結型二極管式和場效應管式等。其電流或電壓隨氣體含量而變化，主要檢測氫和硅烷氣等可燃性氣體。其中，MOSFET接近開關氣體傳感器工作原理是揮發性有機化合物VOC與催化金屬接觸發生反應，反應產物擴散到MOSFET的柵極，改變了元件的性能。可通過分析元件性能的變化識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚，可優化靈敏度和選擇性，并可改變工作溫度。MOSFET氣體接近開關傳感器靈敏度高，但制作工藝比較復雜，成本高。