相對于以前說過的位移光電開關傳感器所測位移量，習慣上稱為毫米級的位移稱為小位移，1mm以下的位移稱為微小位移。實際工程需要直接測量小位移的場合較多，如振動幅度。利用對小位移的測量，可實現對壓力、溫度、加速度等參量的間接測量�？蓽y小位移的光電開關傳感器很多，如電容、電感、光纖和激光以及磁敏光電開關傳感器等。其中光纖位移光電開關傳感器其特點。
　　1、光纖產生彎曲時，會改變內芯與包層間的光的折射方向。部分光逸出散射進入包層，改變了光纖里所傳光信號的強度。光電接收器可接收到由被測量引起光纖彎曲所致的光強變化信號，經調解可得到被測量的變化，稱作強度調制。光纖直徑 變化時，也會改變原來光在光纖里所傳輸的路徑，引起光干涉情況的變化，即光的傳輸相位變化。如果光纖直徑變化由被測量變化引起，光電接收器就可接收到與被測量為變化前不同的干涉信號，經調解可得到被測量的變化，稱為相位調制。
　　利用光纖微彎效應的位移光電開關傳感器是一種光強制型光電開關傳感器，被測物理量位移使變形器位移，光纖微彎變形引起光纖中模式耦合，有些波導模變成了輻射模。內芯中部分光透射入包層，造成了微損耗，微彎器件的位置和壓力參數變化使微彎程度與漏光強度成正比，實現了光強調制。
　　光強與位移之間有確定函數關系，光能經光纖中波導模就會部分透射送入包層形成輻射模。通過輸出光強的變化檢測出波導模功率的變化，可確定變形器的位移及受力大小。對微彎位移光電開關傳感器，高階模變成輻射模時靈敏度最高。