電容式傳感器的三種基本結構形式。它們可以以位移形式分為直線位移和角位移兩個，并根據傳感器板的形狀對平面和圓形或圓柱狀的圓柱形狀，雖然和球面和鋸齒形等形狀，但很少使用，所以表中沒有列出。差分傳感器一般比單組(單)傳感器。具有較高的靈敏度，線性范圍寬，穩定性高。

　　由一個固定的扳手和一個可動板組成的可變距離電容式傳感器，可移動板由測得的平面金屬法組成。測量板間距變化的電容式傳感器。電容變化的初始電容的距離是。

　　板間距的變化是非線性的關系，解釋的原則，存在于電容傳感器的非線性誤差。也就是說，遠遠小于雙極板的范圍要求的初始距離)，我們可以說，什么是線性關系。因此，這種類型的傳感器一般用于位移測量的微小變化。

　　但在板間距過小，電極表面的平面是敏感的影響，但也容易導致電容器故障，因此，板間距不能無限小。改善的方法是在板之間添加一塊云母或塑料薄膜。一般的電容起動電容是一個20pF 30pF，200uM約25um之間的板間距、最大位移量應大于1 / 10的間距。

　　實際使用時，為了提高非線性、提高靈敏度和克服一些外部條件如功率比、環境溫度變化等，經常使用現結構，在測量初始狀態尚未啟動時，可移動板的中間位置對電容器的兩側進行調整和定位。中間板要跟隨測量物體的移動，會造成2個部分的電容增加，減少或增加，所以控制電容值的兩個方面，以提高敏感廢物。當被要求為接近零的線性度也得到了改善。