高頻反射式渦流接近開關傳感器在金屬板一側的電感線圈中通以高頻激勵電流時，線圈便產生高頻磁場，該磁場作用于金屬板，由于集膚效應(交變電流通過導體時，由于感應作用引起導體截面上電流分布不均勻，越接近導體表面，電密度越大，這種現象稱為集膚效應。集膚效應使導體的有效電阻增加。交流電的頻率越高、集膚效應越顯著)，高頻磁場不能透過有一定厚度的金屬板，而是作用于表面薄層，并在這薄導中產生渦流。渦流又會產生交變磁通返過來作用于線圈，使得線圈中的磁通發生變化而引起自感量變化，在線圈中產生感應電勢。電感的變化隨渦流而變。而渦流又隨線圈與金屬板之間的距離X而變化。故可用離頻反射式渦流接近開關傳感器來測量位移量X的變化。